Micropompa con attuazione elettrostatica

Data di pubblicazione

09-09-2015

Codice

DICA.14.024.A

Stato

Disponibile

Data di priorità

02-07-2015

Fase

Domanda di brevetto Italiano, Europeo e US

Titolare

Politecnico di Milano

Dipartimento

DIPARTIMENTO DI INGEGNERIA CIVILE E AMBIENTALE

Autori

Raffaele Ardito, Alberto Corigliano, Emanuele Bertarelli, Marco Ferrera

Descrizione

L’invenzione brevettata riguarda una micropompa, il cui meccanismo di attuazione è basato su forze elettrostatiche. La micropompa può essere accoppiata ad un dispositivo microfluidico, a cui trasferisce una portata di fluido controllata, ed integrata in un sistema comprendente anche un’unità di controllo. La micropompa ha una struttura essenzialmente planare ed è costituita da una serie di elementi, quali: - una camera di pompaggio; - due valvole, una d’ingresso e l’altra d’uscita, di tipo ortoplanare, che non richiedono attuatori elettromeccanici e che possono operare in modo completamente passivo, senza bisogno di comandi esterni; - due recessi per accomodare l’otturatore d’ingresso e quello d’uscita; - un attuatore elettrostatico principale (ed eventualmente anche uno ausiliario); - almeno una membrana di pompaggio (nella configurazione ottimale sono due contrapposte) in materiale semiconduttore.

Campo di applicazione

- Testine per stampa a getto d’inchiostro; - biomedicale/biochimico - raffreddamento di circuiti elettronici mediante liquidi

Vantaggi

- la micropompa brevettata è di realizzazione più semplice e più economica rispetto ad altre note nella prior art, perché tutti gli elementi (camera di pompaggio e valvole) possono essere realizzati accoppiando due soli wafer - le valvole non richiedono attuatori elettromeccanici; - controllo semplificato, perché non deve tener conto della sincronizzazione delle valvole; - gli elettrodi possono essere realizzati in polisilicio e quindi facilmente integrati nei processi di fabbricazione di dispositivi MEMS; - pienamente compatibile con soluzioni ioniche; - l’impiego di due membrane di pompaggio contrapposte consente di aumentare la portata massima della micropompa.

Stadio di sviluppo

Prototipo in fase di realizzazione

Contatto

licensing.tto@polimi.it

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