PoliFab

PoliFAB, infrastruttura di Ateneo per micro e nano fabbricazione, offre una piattaforma unica per l’integrazione di tutte le Key Enabling Technologies in dispositivi e microsistemi innovativi.

PoliFAB permette, inoltre, capacità di prototipazione rapida e di realizzazione di pre-serie di interesse commerciale.

È costituita da una Camera bianca di 430 m2 (ISO 06 e ISO 08) atta a realizzare prototipi di dispositivi integranti tecnologie diverse (fotonica, micro/nanoelettronica, spintronica, micromeccanica/fluidica, biotecnologie).

Processi disponibili: microfabbricazione su 6” (fotolitografia, attacchi dry e wet, deposizioni per PECVD, sputtering, evaporazione, back-end), nanofabbricazione (litografia elettronica, nanoinprinting, nanolitografia AFM).