MEMS device with vibration isolation plate

Data di pubblicazione

08-11-2021

Codice

DICA.20.006.A

Stato

Disponibile

Data di priorità

29-05-2020

Fase

Italian Patent Application process

Titolare

Politecnico di Milano, Nanjing University of Science and Tecnology

Dipartimento

Department of Civil and Environmental Engineering

Autori

Corigliano Alberto, Zega Valentina, Yao Zhichao, Jing Zhang, Su Yan

Descrizione

A metaplate for vibration isolation in MicroElectroMechanical Systems (MEMS)

Contatto

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